その他
その他にも、高真空チャンバ、CVD用チャンバ、真空チャンバ用ロボット、封止型SiCヒータなどを承っています。
- 真空チャンバー各種
- 多元ＳＰ
蒸着 
- 多元ＳＰ
- 搬送チャンバ
- ロボット式搬送
トロッコ式搬送
- ロボット式搬送
- 封止型ＳｉＣヒータ
- ヒータ拡大
大面積用ヒータ
- ヒータ拡大
- 多元水平型スパッタ
- マルチターゲット
シールド付き状態
マルチターゲット
シールド無し状態
- マルチターゲット
- 複合ＰＬＤ
- 多元スパッタ＋ＰＬＤ
- 多元スパッタ＋ＰＬＤ
