製品案内

メカニカルコンポーネント
  • 真空容器内の部位を大気側から操作する機械的なコンポーネントです

ゲートバルブとチャンバーが一体になった小型ロードロック、回転導入機にフランジを搭載した貫通型磁気結束式回転導入機など他に類を見ないユニークなものも多数取り揃えています

マニピュレータ
  • 複数の駆動軸を搭載した複合導入機です

防振型、標準型のマニピュレータは、基本カスタマイズ製品です。何なりとお申し付け下さい

導入機
  • 真空内に回転を伝える(導入する)方法には、ベローズ式、マグネット式及びOリングシール式があります

真空チャンバ内に回転運動、直進運動を伝える基本的なコンポーネントの他に、磁気結合型の導入機をラインナップし、モータ駆動にも対応しています。

ステージ
  • リニア移動をするものをさすことが多く、ステージに回転導入器を組合せると簡単なマニピュレータになります

美しい白を基調としたステージで、目盛が見やすく、書き込みにも便利です。

磁気移送機構
  • トランスファーロッドと呼ばれることもあり、直進、回転移動を同一機構から真空内に導入することが出来ます

高精度のパイプを使用することで、試料を真空チャンバ間で搬送する用途の他に、上下機構、シャッタにも使用しています。

真空室隔壁窓

ビューイングポート関連のユニットです

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