リニアステージ
| ＶＢＬＳ |
 |
特 長
オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。
駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。
軽量・コンパクト設計で、容易に装置の省スペース化を図れます。
仕 様
| 形 式 |
VBLS34-ST25 |
VBLS34-ST50 |
VBLS70-ST25 |
VBLS70-ST50 |
|---|
| 取付フランジ |
ICF34 |
ICF70 |
|---|
| 内径 ｍｍ |
φ15 |
φ38.5 |
|---|
| 移動量 ｍｍ |
２５ |
５０ |
２５ |
５０ |
|---|
| 最小読取量 |
0.2mm |
|---|
| 寿 命 |
10,000回 |
| リーク量 |
2×10-11Pa・m3/sec以下 |
| ベーキング温度 |
最高200℃ |
