Ｚステージ
| ＶＢ−Ｚ |  |
特 長
オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。
駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。
ストロークに応じてコンパクトタイプと高負荷タイプと2種類用意していますので状況に応じて選定可能です。
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| ＶＢ７０ｃ−Ｚ** (コンパクトタイプ） |
ＶＢ７０−Ｚ** |
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| ＶＢ１１４ｃ−Ｚ (コンパクトタイプ） |
ＶＢ１１４−Ｚ** |
| ＶＢ１１４−Ｚ１００ |  |
仕 様
コンパクトタイプ CF70
| 形 式 | VB70ｃ-Z25 | VB70ｃ-Z50 | VB70ｃ-Z100 |
|---|---|---|---|
| 取付フランジ | ICF70（固定：キリ穴／移動：タップ） | ||
| シール方式 | ベローズ式 | ||
| 内径 ｍｍ | φ39.7 | ||
| 移動量 ｍｍ | ２５ | ５０ | １００ |
| リーク量 | 2×10-11Pa・m3/sec以下 | ||
| ベーキング温度 | 最高200℃ | ||
| サービスタップ | M4 4ヶ所 位置については、PDFをご参照下さい | ||
コンパクトタイプ CF114
| 形 式 | VB114ｃ-Z50 | VB114ｃ-Z100 | VB114ｃ-Z150 |
|---|---|---|---|
| 取付フランジ | ICF114（固定：キリ穴／移動：タップ） | ||
| シール方式 | ベローズ式 | ||
| 内径 ｍｍ | φ70 | ||
| 移動量 ｍｍ | ５０ | １００ | １５０ |
| リーク量 | 2×10-11Pa・m3/sec以下 | ||
| ベーキング温度 | 最高200℃ | ||
標準タイプ CF70
| 形 式 | VB70-Z100 | VB70-Z150 | VB70-Z200 | VB70-Z250 | VB70-Z300 |
|---|---|---|---|---|---|
| 取付フランジ | ICF70（固定：キリ穴／移動：タップ） | ||||
| シール方式 | ベローズ式 | ||||
| 内径 ｍｍ | φ39 | ||||
| 移動量 ｍｍ | １００ | １５０ | ２００ | ２５０ | ３００ |
| リーク量 | 2×10-11Pa・m3/sec以下 | ||||
| ベーキング温度 | 最高200℃ | ||||
| サービスタップ | M4 4ヶ所 位置については、PDFをご参照下さい | ||||
標準タイプ CF114
| 形 式 | VB114-Z50 | VB114-Z100 | VB114-Z150 |
|---|---|---|---|
| 取付フランジ | ICF114 | ||
| シール方式 | ベローズ式 | ||
| 内径 ｍｍ | φ70 | ||
| 移動量 | ５０ | １００ | １５０ |
| リーク量 | 2×10-11Pa・m3/sec以下 | ||
| ベーキング温度 | 最高200℃ | ||
※規格に無いサイズもお問合わせください。