回転導入機

VBR□□

特 長

オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。

駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。

高精度かつ軽量・コンパクト設計で、容易に装置の省スペース化を図れます。

VBR
VBR34/70外観図(PDF)

仕 様

形 式 VBR34 VBR70
接続フランジ ICF34 ICF70
最小目盛り 0.5°
寿 命 10,000回
リーク量 2×10-11Pa・m3/sec以下
ベーキング温度 最高200℃