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回転導入機
VBR□□
特 長
オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。
駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。
高精度かつ軽量・コンパクト設計で、容易に装置の省スペース化を図れます。
VBR34/70外観図(PDF)
仕 様
形 式
VBR34
VBR70
接続フランジ
ICF34
ICF70
最小目盛り
0.5°
1°
寿 命
10,000回
リーク量
2×10
-11
Pa・m
3
/sec以下
ベーキング温度
最高200℃
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