高純度オゾン発生装置
OHS−1000 |
特 長
水・エアー・電気・温度等のインターロックの他、万一の場合にも破裂板が作動します。
本装置はオゾンの液化、貯蔵、気化及び排気が自動的に行えます。オゾンの液化・貯蔵・気化等の時間設定は、任意に選択可能です。
供給されるオゾンフラックスは、貯蔵室の温度制御によって高い安定性(変動率:2%以下)と可変性が得ることができます。
クライオスタット部は、小型軽量化によって反応室に直接ICF114フランジで取り付けることができます。
液体オゾンを気化する方式のため、高純度のオゾンが発生されます。
高純度オゾン発生装置外観図(PDF) |
準備中 |
仕 様
構成 | 仕様 | |
---|---|---|
液体オゾン室 | 容量 | 約4cc |
材質 | SUS | |
処理 | 電解研磨 | |
発生オゾン濃度 | 90%以上 | |
ヘリウム冷凍機 | 到達温度 | 28K |
冷凍能力 | 10W(70K) | |
真空計 | 測定圧力範囲 | 10-3Pa以下 |
単体寸法 | W570×D540×H450mm | |
単体重量 | 12kg | |
使用原料ガス | 種類 | 酸素(99.99%) |
温度コントロール | 制御温度範囲 | 50〜300K |
温度安定度 | ±0.1K以内(70〜100K設定時) | |
排気系 | 主排気 | メカニカルドラッグポンプ |
粗排気 | スクロール型ドライポンプ(又はPP) | |
到達圧力 | 1×10-3Pa | |
ヘリウムガス コンプレッサー部 |
ヘリウム圧力 | 2〜2.3MPa(常時運転時) |
冷却水 | ||
入口温度 | 10〜30℃ | |
消費電力 | 約800W | |
外径寸法 | W550×D560×H770mm |