高純度オゾン発生装置

OHS−1000

特 長

水・エアー・電気・温度等のインターロックの他、万一の場合にも破裂板が作動します。

本装置はオゾンの液化、貯蔵、気化及び排気が自動的に行えます。オゾンの液化・貯蔵・気化等の時間設定は、任意に選択可能です。

供給されるオゾンフラックスは、貯蔵室の温度制御によって高い安定性(変動率:2%以下)と可変性が得ることができます。

クライオスタット部は、小型軽量化によって反応室に直接ICF114フランジで取り付けることができます。

液体オゾンを気化する方式のため、高純度のオゾンが発生されます。

高純度オゾン発生装置外観図(PDF)

準備中

仕 様

構成仕様
液体オゾン室 容量 約4cc
材質 SUS
処理 電解研磨
発生オゾン濃度 90%以上
ヘリウム冷凍機 到達温度 28K
冷凍能力 10W(70K)
真空計 測定圧力範囲10-3Pa以下
単体寸法 W570×D540×H450mm
単体重量 12kg
使用原料ガス 種類 酸素(99.99%)
温度コントロール制御温度範囲50〜300K
温度安定度 ±0.1K以内(70〜100K設定時)
排気系 主排気 メカニカルドラッグポンプ
粗排気 スクロール型ドライポンプ(又はPP)
到達圧力 1×10-3Pa
ヘリウムガス
コンプレッサー部
ヘリウム圧力2〜2.3MPa(常時運転時)
冷却水
入口温度 10〜30℃
消費電力 約800W
外径寸法 W550×D560×H770mm