マグネトロンスパッタガン

SPG−○○○○

特 長

弊社のスパッタガンは、マグネトロンスパッタガン(Super Low Pressure Mag-netron Sputter Gun)です。

お手持ちの装置に容易に取り付けることができ、各種成膜実験を行うことができます。

φ1”タイプ(SPG-1)外観図(PDF) φ2”タイプ(SPG-2)外観図(PDF)

仕 様

形式 ターゲットサイズ 取付フランジ 備考
SPG-1 φ29mm ICF70 オールメタル
SPG-1-S
(シャッター付)
φ29mm ICF114 オールメタル
SPG-2 φ2" ICF114 Oリングシール
SPG-2-S
(シャッター付)
φ2" ICF152 Oリングシール
SPG-3 φ3" ICF152 Oリングシール
DC電源 120W/300W/500W 各種
RF電源
13.56MHz
120W/300W/500W 各種