水晶・ペニング冷陰極真空計
| ＧＰＱ−１１１ |  |
特 長
水晶・ペニング冷陰極真空計は大気圧から超高真空までを一つのゲージヘッド・コントローラーで測定できるコンパクトな真空計です。
ぺニング真空計部、高電圧は2.5x10-2Torr以下で印加されるため、高い圧力での電極の汚染が少なく、 また放電の停止、による制御出力の誤動作をなくした、高信頼性でかつ安全な設計になっています。
概 要
本真空計は、水晶振動子の共振抵抗値が気体の摩擦による抗力が、圧力とともに変化することを利用した水晶真空計と 磁場中の冷陰極放電電流が圧力にほぼ比例することを利用したベニング真空計を 一つのゲージヘッド、一つのコントローラに組込んだ全く新しい複合型広帯域真空計です。
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| クリスタルゲージ資料（PDF） | クリスタルゲージ資料 英文（PDF） |
仕 様
| 仕様 | ||
| ゲージタイプ | クリスタル | ペニング |
| 測定範囲 | 760〜1×10-8Torr | |
| 真空度表示 | アナログ ANALOG | |
| 真空範囲表示 | 760〜1×10-2Torr | 10-2〜10-8Torr |
| 直線性 | ＜±10％ | ＜Factor2 |
| 応答性 | ＜200msec | ＜50mmsec |
| セットポイント | 1個 | 1個 |
| 外部出力 | 0〜10V | |
| 測定用ケーブル | 3m/Max100m | |
| 入力電力 | AC 100V±10％ | |
| 重量 | 1.5kg（sensor head）/4.3kg（control unit） | |