電子ビーム蒸着装置
| ＶＰＥＤ−○○○○ ○○○○：ガン数量、サイズが 記号化されます |
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特 長
本装置は、電子ビーム蒸着源を有する蒸着装置です。
低価格を実現する為、必要最小限のシンプルな構成になっております。
多数のオプションも備えておりますので、用途に合せてお選びください。
φ12”の大面積、多元蒸着源の実績もありますのでお問合わせください。
| ＶＰＥＤ−○○○○ 外形図（ＰＤＦ） |
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仕 様
| 構成 | 仕様 | |
|---|---|---|
| 処理室 | 到達真空度 | 10-5Pa台（ノンベーク） |
| Ｅ型電子銃 オプションにより各種変更可 |
電源 | 2kW |
| ルツボ | 1ml | |
| 蒸発源数 | 1 | |
| 各種オプション 詳細は別途お問合わせください |
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| 基板加熱機構 | 1000℃（ＳｉＣヒーター） 800℃（ランプヒーター） |
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| 基板移動機構 | Ｘ、Ｙ、Ｚ、回転各種 | |
| Ｅ型電子銃 | 多連、ルツボサイズの変更等 | |
| その他 | 抵抗加熱蒸着ボードの追加 | |