多元スパッタ装置
VPSD−○○○○
○○○○:ガン数量、サイズを 記号化されます |
特 長
本装置は、最大4元のスパッタガンを設置可能な成膜装置です。
ソース源には低価格の1"スパッタガンや2"〜4"スパッタガンの装備が可能であり、
成膜レシピ(PC制御)システムを有する装置まで幅広い実績を誇ります。
また、多数のオプションも備えておりますので、用途に合せてご相談ください。
多元1インチスパッタ装置 外観図(PDF) |
多元2インチスパッタ装置 外観図(PDF) |
仕 様
構成 | 仕様 | |
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処理室 | 到達真空度 | 10-6Pa台 |
排気系 | TMP200L/S RP160L/min | |
スパッタガン オプションにより 各種変更可 |
DC/RF電源 | 100W |
ターゲットサイズ | φ29×t3 | |
スパッタガン搭載数 | 1(最大4本) | |
シャッタ | 有 | |
マグネット | 有(バランス/アンバランス)・無 | |
オプション | 電源、ターゲットサイズ、数の変更 | |
基板ホルダ | 基板サイズ | φ1"〜 |
基板移動機構 | 30mm上下 | |
オプション | 回転、XY、加熱、冷却 シャッタ機構の追加等 |
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ガス導入系 | MFC | Ar 50sccm |
オプション | 他系統ガスの追加、 バリアブルリークバルブへの変更 |
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制御系 オプション |
製膜時間制御 | シャッタ開閉コントロール |
ガス圧制御 | バタフライバルブコントロール |