多元スパッタ装置

VPSD−○○○○
○○○○:ガン数量、サイズを
記号化されます

特 長

本装置は、最大4元のスパッタガンを設置可能な成膜装置です。
ソース源には低価格の1"スパッタガンや2"〜4"スパッタガンの装備が可能であり、 成膜レシピ(PC制御)システムを有する装置まで幅広い実績を誇ります。
  また、多数のオプションも備えておりますので、用途に合せてご相談ください。

多元1インチスパッタ装置
外観図(PDF)
多元2インチスパッタ装置
外観図(PDF)

仕 様

構成仕様
処理室 到達真空度 10-6Pa台
排気系 TMP200L/S RP160L/min
スパッタガン
オプションにより
各種変更可
DC/RF電源 100W
ターゲットサイズ φ29×t3
スパッタガン搭載数 1(最大4本)
シャッタ
マグネット 有(バランス/アンバランス)・無
オプション 電源、ターゲットサイズ、数の変更
基板ホルダ 基板サイズ φ1"〜
基板移動機構 30mm上下
オプション 回転、XY、加熱、冷却
シャッタ機構の追加等
ガス導入系 MFC Ar 50sccm
オプション 他系統ガスの追加、
バリアブルリークバルブへの変更
制御系
オプション
製膜時間制御 シャッタ開閉コントロール
ガス圧制御 バタフライバルブコントロール